用于同步暗场及相位对比检测之系统及方法

摘要

明揭示一种用于同步暗场(DF)及差分干涉对比(DIC)检测之检测装置，其包含一照明源及经组态以固定一样本之一样本载台。该检测装置包含一第一感测器、一第二感测器及一光学子系统。该光学子系统包含一物镜、一或多个光学元件，该等光学元件经配置以通过该物镜将来自该一或多个照明源的照明引导至该样本之一表面。该物镜经组态以收集来自该样本之该表面之一信号，其中该所收集的信号包含来自该样本之一基于散射的信号及/或一基于相位的信号。该检测装置包含一或多个分离光学元件，其经配置以藉由沿着一DF路径及DIC路径，各自引导该DF信号及该DIC信号，将该所收集之信号空间地分离成一DF信号与一DIC信号。

主权项

一种用于同步暗场及差分干涉对比检测之装置，其包括：一或多个照明源；一样本载台，其经组态以固定一样本；一第一感测器；一第二感测器；及一光学子系统，其包括：一物镜；一或多个光学元件，其经配置以通过该物镜将来自该一或多个照明源的照明引导至该样本之一表面，其中该物镜经组态以收集来自该样本之该表面之一所收集的信号，其中该所收集之信号包含来自该样本之一基于散射的信号与一基于相位的信号中之至少一者；及一或多个分离光学元件，其经配置以藉由沿着一暗场路径将该暗场信号引导至该第一感测器，且沿着一差分干涉对比路径将该差分干涉对比信号引导至该第二感测器，而将该所收集之信号空间地分离成一暗场信号与一差分干涉对比信号。