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发明名称 METHOD OF FORMING ALUMINUM PATTERNS
摘要
申请公布号 JPS52131939(A) 申请公布日期 1977.11.05
申请号 JP19760047716 申请日期 1976.04.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 NOZAWA HARUO;HONMA YOSHIO;HARADA TADAYOSHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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