发明名称 METHOD OF PRODUCING TRANSISTOR USING ION SHOCK
摘要
申请公布号 JPS52129284(A) 申请公布日期 1977.10.29
申请号 JP19770001567 申请日期 1977.01.12
申请人 IBM 发明人 YUNGI AN;DEEBUIDO DEUITSUTO;UIRIAMU ESU JIYONSON;UORUTAA JIEI KUREINFUERUDAA
分类号 H01L23/52;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/3205;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/761;H01L21/8228;H01L27/00;H01L27/06;H01L29/73 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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