发明名称 |
METHOD OF PRODUCING TRANSISTOR USING ION SHOCK |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS52129284(A) |
申请公布日期 |
1977.10.29 |
申请号 |
JP19770001567 |
申请日期 |
1977.01.12 |
申请人 |
IBM |
发明人 |
YUNGI AN;DEEBUIDO DEUITSUTO;UIRIAMU ESU JIYONSON;UORUTAA JIEI KUREINFUERUDAA |
分类号 |
H01L23/52;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/3205;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/761;H01L21/8228;H01L27/00;H01L27/06;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L23/52 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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