发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND ITS PREPARATION
摘要
申请公布号 JPS52127775(A) 申请公布日期 1977.10.26
申请号 JP19760044620 申请日期 1976.04.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ABE SHIGEHARU;ONO TOSHIHIKO;TABATA YUTAKA
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/43;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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