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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS52127166(A) 申请公布日期 1977.10.25
申请号 JP19760043644 申请日期 1976.04.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAHANO TAKASHI;KANAZAWA MASAO
分类号 H01L21/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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