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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON AUS HALBLEITERMATERIAL BESTEHENDEN, DIREKT BEHEIZBAREN HOHLKOERPERN FUER DIFFUSIONSZWECKE
摘要
申请公布号 DE2253411(B2) 申请公布日期 1977.10.06
申请号 DE19722253411 申请日期 1972.10.31
申请人 发明人
分类号 C01B33/02;C01B33/027;C23C16/01;C23C16/22;C23C16/44;C30B29/60;C30B31/10;H01L21/22;(IPC1-7):B01J17/32 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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