| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR GAS PLASMA REACTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52116785(A) |
申请公布日期 |
1977.09.30 |
| 申请号 |
JP19770023294 |
申请日期 |
1977.03.02 |
| 申请人 |
INT PLASMA CORP |
发明人 |
JIEEMUSU EFU BATSUTEII;RICHIYAADO ERU BAASHIN;RICHIYAADO EFU RAIKARUDAAFUAA;JIYOSEFU EMU UERUTEI |
| 分类号 |
B01J19/08;B01J12/00;C23C8/36;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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