发明名称 REMOVAL OF ORGANIC AGENT
摘要
申请公布号 JPS52113164(A) 申请公布日期 1977.09.22
申请号 JP19760029240 申请日期 1976.03.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIROBE YOSHIMICHI;IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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