发明名称 LIFT TIME MEASURING FOR MINOR CARRIER OF SEMIICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS52111372(A) 申请公布日期 1977.09.19
申请号 JP19760027912 申请日期 1976.03.15
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 MADA YOUICHI;OOHARA TAKAHIKO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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