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经营范围
发明名称
CROSS MOTION STAGE
摘要
申请公布号
JPS52104247(A)
申请公布日期
1977.09.01
申请号
JP19760020153
申请日期
1976.02.27
申请人
NIPPON CHEMICAL IND
发明人
KAKIZAKI YUKIO
分类号
G01R31/26;B23Q1/62;F16M13/00;G01B5/00;G02B21/26;G12B5/00;H01L21/68
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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