发明名称 FORMATION OF WIRING ON INSULATING LAYER HAVING STEPS
摘要
申请公布号 JPS52102691(A) 申请公布日期 1977.08.29
申请号 JP19760018989 申请日期 1976.02.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOSA YASUNOBU
分类号 H01L21/768;H01L21/28 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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