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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5289469(A)
申请公布日期
1977.07.27
申请号
JP19760004983
申请日期
1976.01.21
申请人
HITACHI LTD
发明人
KANEKO HIROSHI;YATSUNO KOUMEI
分类号
H01L21/316;H01L21/31
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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