发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5287373(A) 申请公布日期 1977.07.21
申请号 JP19760004225 申请日期 1976.01.17
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 ARAKI MINORU
分类号 H01L21/822;H01L21/28;H01L21/336;H01L27/04;H01L29/40;H01L29/41;H01L29/78 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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