| 发明名称 |
SPUTTERING OF METAL OXIDE FILMS IN THE PRESENCE OF HYDROGEN AND OXYGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3506556(A) |
申请公布日期 |
1970.04.14 |
| 申请号 |
USD3506556 |
申请日期 |
1968.02.28 |
| 申请人 |
PPG IND. INC. |
发明人 |
FRANK H. GILLERY;JEAN P. PRESSAU |
| 分类号 |
C23C14/00;H01B1/00;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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