| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM ABLOESEN VON SCHICHTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2645081(A1) |
申请公布日期 |
1977.07.14 |
| 申请号 |
DE19762645081 |
申请日期 |
1976.10.06 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
TARAS ROMANKIW,LUBOMYR |
| 分类号 |
H05K3/14;C23C14/04;G03F7/26;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3205;(IPC1-7):H05K3/02;H01F10/00;H01L21/02;H01L21/30;H01L21/46;H01L39/24 |
主分类号 |
H05K3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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