发明名称 VERFAHREN ZUM ANBRINGEN AUFEINANDERFOLGENDER SCHICHTEN AUF EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE2217988(B2) 申请公布日期 1977.07.07
申请号 DE19722217988 申请日期 1972.04.14
申请人 发明人
分类号 C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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