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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5222508(B2)
申请公布日期
1977.06.17
申请号
JP19730068868
申请日期
1973.06.20
申请人
发明人
分类号
H01J37/04;H01J31/50;H01J37/30;H01J37/304;H01L21/027
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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