发明名称
摘要
申请公布号 JPS5222508(B2) 申请公布日期 1977.06.17
申请号 JP19730068868 申请日期 1973.06.20
申请人 发明人
分类号 H01J37/04;H01J31/50;H01J37/30;H01J37/304;H01L21/027 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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