发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5260082(A) 申请公布日期 1977.05.18
申请号 JP19750136509 申请日期 1975.11.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YASUI JIYUUROU
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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