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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5260073(A) 申请公布日期 1977.05.18
申请号 JP19750135814 申请日期 1975.11.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MIHARA KIYOHIKO
分类号 H01L21/306;H01L21/302;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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