发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS
摘要
申请公布号 DE2215351(B2) 申请公布日期 1977.05.05
申请号 DE19722215351 申请日期 1972.03.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762;H01L21/8222;H01L23/29;H01L27/00;H01L27/08;H01L29/00;H01L29/06;(IPC1-7):01L29/72 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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