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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03169016(A) 申请公布日期 1991.07.22
申请号 JP19890310098 申请日期 1989.11.28
申请人 NEC CORP 发明人 OKAMURA KENJI
分类号 H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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