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发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03173776(A) 申请公布日期 1991.07.29
申请号 JP19890313936 申请日期 1989.12.01
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 ODA KAZUHIKO;UKEKAWA JIHEI;YOSHIOKA TAKESHI;KAWAI HIROSHI;DOI AKIRA
分类号 C23C16/50;C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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