| 发明名称 |
PRODUCTION METHOD OF SEMICONSUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5225574(A) |
申请公布日期 |
1977.02.25 |
| 申请号 |
JP19750101479 |
申请日期 |
1975.08.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TOSA MASATSUNE;IZUMI SEISHI;TSUCHIYA YOSHIMI |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/56 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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