发明名称 POLYKRISTALLINER MONOLITHISCHER DRUCKFUEHLER UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2429894(B2) 申请公布日期 1977.02.24
申请号 DE19742429894 申请日期 1974.06.21
申请人 发明人
分类号 G01L9/00;H01L21/00;H01L29/00;H01L29/84;(IPC1-7):H01L41/10;H01L41/22 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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