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经营范围
发明名称
Vorrichtung zum Behandeln von Substraten
摘要
申请公布号
DE102005026961(B4)
申请公布日期
2007.08.30
申请号
DE200510026961
申请日期
2005.06.10
申请人
SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人
KEMPF, STEFAN;NOVAK, EMMERICH;WOLFERT, MANFRED
分类号
B65G49/07;G11B7/26;H01L21/67
主分类号
B65G49/07
代理机构
代理人
主权项
地址
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