涂布装置及涂布方法

摘要

本发明系为一种涂布装置，系具备基板保持部，其系水平地保持基板；药液喷嘴，其系供给药液至水平地保持于基板保持部之基板的中心部；旋转机构，其系为了藉由离心力，于基板的表面广泛涂布药液，而使基板保持部旋转；气流形成手段，其系于水平地保持于基板保持部之基板的表面，形成环境气体的降流；排气手段，其系将基板周围环境排气；及气体喷嘴，其系供给较环境气体动黏性系数更大之层流形成用气体至基板的表面；其特征在于前述环境气体或是前述层流形成用气体，系供给至基板的中心部。