管状靶

摘要

本发明涉及一种由耐火金属或耐火金属合金构成的管状靶，该管状靶包含具有相对密度RDx的至少一管状区段X及具有相对密度RDy的至少一管状区段Y，其中至少一管状区段X至少在若干区域具有大于管状区段Y的至少若干区域的外径的外径，且密度比率满足关系(RDy-RDx)/RDy≥0.001。本发明进一步涉及一种用于借由烧结及变形至局部不同的程度来生产由耐火金属或耐火金属合金构成的管状靶的方法。相比于根据现有技术的管状靶，该管状靶具有在整个表面上更均一的溅镀烧蚀。该等管状靶具有既不造成发弧又不造成粒子产生的趋势。

主权项

一种由耐火金属或耐火金属合金构成的管状靶(100)，所述耐火金属合金具有≥50原子％的耐火金属含量，所述管状靶包含至少在若干区域中具有相对密度RDx的至少一管状区段X(200、201)及至少在若干区域中具有相对密度RDy的至少一管状区段Y(300)，其中至少一管状区段X(200、201)至少在若干区域中具有大于管状区段Y(300)的至少若干区域的外径的外径，其特征在于$\frac{RDy-RDx}{RDy}\ge \mathrm{0.001.}$