发明名称 TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01161830(A) 申请公布日期 1989.06.26
申请号 JP19870318840 申请日期 1987.12.18
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 MASUYAMA SHIGEJI;TAKAHASHI MAKOTO
分类号 H01L21/223;H01L21/22 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
地址