发明名称 CHARGED PARTICLE CHECKING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01246797(A) 申请公布日期 1989.10.02
申请号 JP19880072374 申请日期 1988.03.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAGAWA TAKAFUMI
分类号 G21K1/093;H05H7/00 主分类号 G21K1/093
代理机构 代理人
主权项
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