| 发明名称 |
BANDGEGOSSENER SILICIUMCARBID-ERSATZWAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT220055(T) |
申请公布日期 |
2002.07.15 |
| 申请号 |
AT19970917718T |
申请日期 |
1997.03.31 |
| 申请人 |
SAINT-GOBAIN INDUSTRIAL CERAMICS, INC. |
发明人 |
HOLMES, THOMAS, M. |
| 分类号 |
C04B35/565;B28B1/14;C04B35/573;C04B35/622;C04B38/00;H01L21/02;H01L21/302;(IPC1-7):C04B38/00;C04B41/87 |
主分类号 |
C04B35/565 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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