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发明名称
Verfahren zum Erzeugen einer edelmetallhaltigen Struktur auf einer Unterlage und Halbleiterbauelement mit einer solchen edelmetallhaltigen Struktur
摘要
申请公布号
DE19703205(A1)
申请公布日期
1998.07.30
申请号
DE19971003205
申请日期
1997.01.29
申请人
SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE
发明人
WEINRICH, VOLKER, DIPL.-CHEM. DR., 81549 MUENCHEN, DE;MAZURE, CARLOS, DR.RER.NAT., 85614 KIRCHSEEON, DE
分类号
H01L21/28;H01G4/008;H01L21/02;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320;H01G4/005;H01G7/06
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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