石墨烯薄膜制造装置及石墨烯薄膜制造方法

摘要

本发明公开一种石墨烯薄膜制造装置，包括：原料流体供应部，供应含碳的原料流体；气体喷出部，从所述原料流体供应部得到所述原料流体的供应，并将所述原料流体热分解而喷出；加热装置，配置为对与所述气体喷出部中喷出的气体接触的催化剂基板进行加热，或者至少对与所述喷出的气体相接触的催化剂基板的区域进行局部加热。

主权项

一种石墨烯薄膜制造装置，包括：原料流体供应部，供应含碳的原料流体；一个气体喷出部，从所述原料流体供应部得到所述原料流体的供应，并将所述原料流体热分解而以气体状态喷出；催化剂基板，配置为与从所述气体喷出部喷出的气体相接触；一个加热装置，配置在所述一个气体喷出部与所述催化剂基板之间或者所述催化剂基板的下部，以至少对与所述喷出的气体相接触的催化剂基板的区域进行局部加热，冷却部，配置为与所述气体喷出部分离，用于使与喷出的气体接触的所述催化剂基板的区域在经过预定时间后得到冷却，其中，所述气体喷出部在沿着一个方向移动的过程中喷出气体。