使用电浆CVD来制造碳膜之装置、其制造方法以及碳膜

摘要

提供一种能以低成本、低消耗电力来形成均一的碳膜之成膜方法。一种碳膜之成膜方法，系具备以下步骤：在真空室配置局部设有开孔之筒状体之步骤；在该筒状体内部配置基材之步骤；在该真空室导入碳膜成膜用气体之步骤；以及对筒状体施加电浆产生用电压来在该筒状体内部产生电浆、利用该电浆而在基材表面形成碳膜之步骤。