发明名称
摘要
申请公布号 JPH01129085(U) 申请公布日期 1989.09.04
申请号 JP19880023141U 申请日期 1988.02.24
申请人 发明人
分类号 B25F5/00;H01L31/04;(IPC1-7):B25F5/00 主分类号 B25F5/00
代理机构 代理人
主权项
地址