发明名称 Halbleiteranordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要 The method for making a single crystal silicon contact for integrated circuits is described. The epitaxial contact is self-patterning and is formed by coherent growth on a surface of monocrystalline silicon for protecting and contacting said surface.
申请公布号 DE2149766(A1) 申请公布日期 1972.04.13
申请号 DE19712149766 申请日期 1971.10.05
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 REGINALD BURGESS,RONALD
分类号 H01L21/00;H01L21/285;H01L23/29;H01L23/485 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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