| 发明名称 |
Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism |
| 摘要 |
기판 이송 장치는, 프레임; 상기 프레임에 연결되고 적어도 하나의 독립적으로 제어가능한 모터를 포함하는 구동부; 상기 프레임에 연결되고 기판들을 지지하고 이송하기 위해 배치되는 암 링크들을 포함하는 적어도 2 개의 기판 이송 암들; 및 상기 적어도 하나의 독립적으로 제어가능한 모터 및 상기 적어도 2 개의 기판 이송 암들에 결합되고, 상기 적어도 2 개의 기판 이송 암들 중 하나의 펼침 및 접힘을 기동시키면서 상기 적어도 2 개의 기판 이송 암들 중 다른 하나는 실질적으로 접힘 구성으로 남게 하는 기계적 모션 스위치를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR101629734(B1) |
申请公布日期 |
2016.06.13 |
| 申请号 |
KR20147029326 |
申请日期 |
2008.05.08 |
| 申请人 |
브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 |
发明人 |
호프메이스터 크리스토퍼;크루피셰브 알렉산더;길크라이스트 울리시즈;호제크 마틴 |
| 分类号 |
B25J9/06;B65G49/07;B66C23/00;H01L21/677 |
主分类号 |
B25J9/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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