发明名称 VORRICHTUNG ZUR VERDAMPFUNG VON METALLEN ODER METALLOIDEN
摘要
申请公布号 DE1621240(B1) 申请公布日期 1971.10.14
申请号 DE196700E4850 申请日期 1967.09.28
申请人 EDWARDS HIGH VACUUM INT LTD 发明人 BARKER DENNIS WALTER
分类号 C23C14/26;(IPC1-7):C23C13/12 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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