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发明名称 VERTICAL HEAT TREATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR ARTICLE
摘要
申请公布号 JPH02307216(A) 申请公布日期 1990.12.20
申请号 JP19890129296 申请日期 1989.05.23
申请人 DEISUKO HAITETSUKU:KK 发明人 OTSUKI KENJI
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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