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发明名称
Vakuumvorrichtung und Verfahren zum Regeln des Druckes in einer bestimmten Zone einer Vakuumkammer
摘要
申请公布号
DE1767863(A1)
申请公布日期
1972.02.17
申请号
DE19681767863
申请日期
1968.06.25
申请人
EDWARDS HIGH VAKUUM INTERNATIONAL LTD.
发明人
NORMAN JACKSON,GEOFFREY;DOUGLAS PRIESTLAND,COLIN RICHARD
分类号
G05D16/18;H01J37/34
主分类号
G05D16/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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