| 发明名称 |
MANUFACTURE OF GAAS FIELD EFFECT TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57106080(A) |
申请公布日期 |
1982.07.01 |
| 申请号 |
JP19800182350 |
申请日期 |
1980.12.23 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI KK |
发明人 |
TOYODA NOBUYUKI;HOUJIYOU AKIMICHI |
| 分类号 |
H01L21/324;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/324 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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