发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE WITH CONSTANT WIDTH DEEP GROOVE ISOLATION
摘要
申请公布号 US5200348(A) 申请公布日期 1993.04.06
申请号 US19910801865 申请日期 1991.12.03
申请人 HATACHI, LTD. 发明人 UCHIDA, AKIHISA;OKADA, DAISUKE;TAKAKURA, TOSHIHIKO;OGIUE, KATSUMI;TAMAKI, YOICHI;KAWAMURA, MASAO
分类号 H01L21/316;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/73 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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