微型石英谐振阵列基因传感器芯片

摘要

本发明涉及的是一种微型压电石英谐振器阵列基因传感器芯片,它是利用微细加工技术直接在石英晶体上刻蚀出超薄石英谐振器阵列,然后对应地固化大量的探针,所以一次可以对大量的DNA分子或RNA分子进行检测分析,从而解决了传统核酸印迹杂交技术复杂、自动化不能提高、检测目的分子数量少等不足;本发明所述的基因芯片具有可原位测定、无需标记、即时获得检测信息、体积较小便于携带、使用方便、成本低廉等优点。

主权项

1、一种微型压电石英谐振器阵列基因传感器芯片，其特征在于所述的芯片包括被刻蚀成阵列的AT切石英晶体3，在石英晶体的下表面镀有金属膜层4，在石英晶体阵的上表面镀有呈相同阵列的金属膜层2，在呈阵列的上金属膜层2的上表面固化有探针阵列层1，相应的探针7处固定有电极6，下金属膜层与基座5热压键合。