发明名称 SOI SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01259539(A) 申请公布日期 1989.10.17
申请号 JP19880088772 申请日期 1988.04.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ARIMOTO YOSHIHIRO
分类号 H01L21/322;H01L21/02;H01L21/31;H01L27/12 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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