| 发明名称 |
Integrated circuits from wafers having improved flatness |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4874463(A) |
申请公布日期 |
1989.10.17 |
| 申请号 |
US19880290653 |
申请日期 |
1988.12.23 |
| 申请人 |
AT&T BELL LABORATORIES |
发明人 |
KOZE, JEFFREY T.;MILLER, ANTON J. |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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