发明名称 DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UN PLASMA.
摘要 <P>Le dispositif comprend une cavité (2) délimitée par une paroi extérieure métallique (3) et traversée par un tube de décharge (4) dans lequel circule un gaz plasmagène, un générateur de micro-ondes et des moyens de transport (14) des micro-ondes tels qu'un guide d'ondes entre la sortie du générateur et l'intérieur de la cavité (2). <BR/> Le gaz plasmagène circulant dans le tube de décharge (4) est exposé aux ondes transmises à l'intérieur de la cavité (2) sur une longueur (1) le long du tube de décharge (4) réduite par rapport à la dimension (L) de la cavité (2) parallèlement à la direction (x-x') du tube de décharge (4). <BR/> Utilisation dans les applications des plasmas de forte puissance.</P>
申请公布号 FR2665323(A1) 申请公布日期 1992.01.31
申请号 FR19900009618 申请日期 1990.07.27
申请人 REYDEL J 发明人 DESSAUX ODILE;DUPRET CHRISTIAN;GOUDMAND PIERRE;HOYEZ CHRISTOPHE
分类号 H01J37/32;H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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