| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF POUR FACILITER LE DEMOULAGE D'OBJETS MOULES |
| 摘要 |
<P>PROCEDE ET APPAREIL POUR NETTOYER DES SURFACES SELECTIONNEES D'UN MOULE POUR EN ELIMINER LES RESIDUS DE MATIERE PLASTIQUE ET LES AGENTS DE CONTAMINATION SUPERFICIELLE ET AUTRES IMPURETES EN VUE D'UNE REUTILISATION DU MOULE DANS UN PROCEDE DE FABRICATION EN SERIE ET CONTINU OU DES ENSEMBLES DE CHASSIS A CONDUCTEURS OU DE SEMI-CONDUCTEURS SONT ENCAPSULES.</P><P>LES PARTIES DU MOULE, APRES SEPARATION DES EXCEDENTS DE MATIERE PLASTIQUE, SONT TRANSFERES DANS UNE ENCEINTE SOUS VIDE 53 ET BRANCHES ELECTRIQUEMENT POUR SERVIR DE CATHODE 69; L'ENCEINTE EST EVACUEE ET REMPLIE D'UN GAZ INERTE IONISABLE; ON ETABLIT UN CHAMP ELECTRIQUE ENTRE LES ELECTRODES POUR GENERER UNE DECHARGE LUMINESCENTE OU DU PLASMA QUI IONISE LE GAZ; LES IONS POSITIFS 81 SONT ACCELERES PAR LE CHAMP ELECTRIQUE VERS LA CATHODE 69 ET BOMBARDENT AU MOINS LESDITES SURFACES SELECTIONNEES; ON PEUT UTILISER DES CACHES POUR EVITER LE BOMBARDEMENT DE CERTAINES ZONES.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DE PUCES, CIRCUITS INTEGRES ET SIMILAIRES.</P>
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| 申请公布号 |
FR2578482(A1) |
申请公布日期 |
1986.09.12 |
| 申请号 |
FR19850003979 |
申请日期 |
1985.03.06 |
| 申请人 |
ASM FICO TOOLING BV |
发明人 |
RICHARDUS HENRICUS JOHANNES FIERKENS ET IRENEUS JOHANNES THEODORUS MARIA PAS |
| 分类号 |
C23F4/00;B08B7/00;B29C33/72;C23G5/00;H01L21/00;H01L21/56;(IPC1-7):B29C33/72;C23C14/34;B29C45/14 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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