发明名称
摘要
申请公布号 JPH01173955(U) 申请公布日期 1989.12.11
申请号 JP19880069030U 申请日期 1988.05.25
申请人 发明人
分类号 G01R33/09;G01R33/06;H01L43/08;(IPC1-7):H01L43/08 主分类号 G01R33/09
代理机构 代理人
主权项
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