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发明名称 FILM CARRIER AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02205332(A) 申请公布日期 1990.08.15
申请号 JP19890025305 申请日期 1989.02.03
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD 发明人 TOKI SOTARO;SEKINE HIDEKATSU;HANAJIMA OSAMU
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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