| 摘要 |
본 발명은 디지털 홀로그래피 현미경 장치와, 디지털 홀로그래피 기술을 이용하여 측정대상물체의 3차원 물체 형상을 복원하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 디지털 홀로그래피 현미경 장치는, 혼합광원부; 혼합광원으로부터 서로 다른 파장을 가지는 2개의 광선을 분할하는 파장분할부; 상기 분할된 광선들로부터 각각 참조광과 물체광을 분할하고, 상기 물체광들과 참조광들을 이용하여 측정대상물체에 대한 정보를 가지는 간섭무늬를 획득하는 간섭무늬획득부; 측정대상물체를 거치하고 상기 물체광들을 광학적으로 조절하여 측정대상물체에 입사시키는 대물부; 상기 간섭무늬를 측정하고, 이를 이산신호로 변환하는 이미지센서부와 이산신호화된 간섭무늬 정보를 저장하는 이미지저장부; 상기 대물부와 상기 간섭무늬획득부와 상기 이미지센서부와 상기 이미지저장부를 제어하는 제어부; 상기 간섭무늬 정보를 이용하여 측정대상물체의 3차원 형상정보를 실시간으로 복원하는 물체형상복원부를 포함할 수 있다. |
