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发明名称 Transfer Device.
摘要
申请公布号 EP0371205(B1) 申请公布日期 1993.12.15
申请号 EP19890115344 申请日期 1989.08.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CIPOLLA, THOMAS MARIO
分类号 B23P19/00;B23Q7/04;B25J9/00;B65G47/91;B65G60/00;H01L21/50;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B23P19/00
代理机构 代理人
主权项
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